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單晶圓清洗機(jī)

作者:晶誠(chéng)電子   |   閱讀次數(shù): 5273次

適用于硅片晶圓濕法清洗、濕法刻蝕、顯影、去膠、LIFT-OFF等工藝;
標(biāo)準(zhǔn)吸盤適用于2-12英寸晶圓,其它規(guī)格可定制;
一體式清洗腔體;
進(jìn)口伺服電機(jī)控制,轉(zhuǎn)速及工藝時(shí)間參數(shù)可自由設(shè)定;
采用進(jìn)口專用旋轉(zhuǎn)電機(jī),運(yùn)行安靜平穩(wěn),故障率低;
真空吸盤采用PEEK+PTFE材質(zhì),強(qiáng)度高、耐腐蝕、密封性能好;
載片臺(tái)采用真空吸附+PIN定位,防止甩片碎片;真空度≤-100KPa;
化學(xué)液及純水自動(dòng)供應(yīng),流量可視可調(diào);
可裝配裝取片機(jī)器人;
配套藥液供應(yīng)系統(tǒng);
配有兆聲清洗,兆聲頻率280-950KHz可選,功率連續(xù)可調(diào);
可配置滾刷刷洗;
最高轉(zhuǎn)速可達(dá)3500RPM+;
工藝參數(shù)可設(shè)定存儲(chǔ);